活动简介

The scope of this conference is to bring together designers and users of test structures to discuss recent developments and futures directions.

征稿信息

重要日期

2016-10-15
摘要截稿日期
2016-11-20
初稿录用日期
2017-01-20
终稿截稿日期

征稿范围

Original papers are solicited presenting new developments in topics relevant to ICMTS, including but not limited to, test structures measurements and results, about:

  • R&D and Manufacture of IC, M(N)EMS, Sensors, Actuators, Bio, solar, displays, and emergent technologies.

  • Material – Process – New technologies Characterizations.

  • New devices – Memory Cells – Arrays.

  • DC – Pulsed – RF: measurements techniques and applications.

  • Design methods – Verification – Metrology.

  • Devices and Circuits Modeling – Parameter Extraction.

  • Matching – Variability.

  • Reliability – Wafer level / thermal Product Failure Analysis & prediction.

  • Yield Enhancement – Production Process Control.

  • Measurements – Statistical – Probing – Throughput - Analysis – Strategies.

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重要日期
  • 会议日期

    03月27日

    2017

    03月30日

    2017

  • 10月15日 2016

    摘要截稿日期

  • 11月20日 2016

    初稿录用通知日期

  • 01月20日 2017

    终稿截稿日期

  • 03月30日 2017

    注册截止日期

主办单位
Electronics & Information Technology Lab of the French Atomic Energy Commision
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