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乙炔含量对Si-DLC薄膜组织结构及性能的影响
编号：321
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更新：2025-04-20 19:33:32 浏览：3次
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报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
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摘要
类金刚石（DLC）薄膜因其高硬度、低摩擦系数及优异的耐磨耐腐蚀特性，在众多领域应用广泛。本文采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在35CrNi2MoVE基体上制备Si-DLC薄膜，通过改变工作气体含量可调控沉积系统中的等离子体特性，采用扫描电镜、摩擦磨损试验机、划痕仪以及纳米压痕仪等探究不同乙炔含量（10/15/20/25sccm）对Si-DLC薄膜组织结构、力学性能、摩擦学性能的影响规律。结果表明：制备所得薄膜表面均匀致密，均无明显缺陷产生，随乙炔流量增加，表面粗糙度从12.07 nm增加至14.83 nm，薄膜沉积速率从1.4 μm/h增加至3.1 μm/h，膜基结合强度随乙炔流量增加呈现先增大后减小的趋势，当乙炔流量为20 sccm时具有最大结合强度约21 N，薄膜摩擦系数随乙炔流量增加无明显变化，均保持在0.04~0.05，对薄膜磨损率也有显著影响。
关键词
类金刚石薄膜,等离子体增强化学气相沉积,乙炔含量,力学性能,摩擦学性能
报告人
程影春
研究生 北京科技大学稿件作者
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重要日期
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会议日期
05月09日
2025
至05月11日
2025
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04月23日 2025
摘要截稿日期
-
04月23日 2025
初稿截稿日期
-
08月07日 2025
报告提交截止日期
主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
天津大学
中国地质大学（北京）
海南大学
北京科技大学
中国地质大学（北京）
海南大学
北京科技大学
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