随着微电子及微电子机械系统的广泛运用，零部件间难免会发生接触，且薄膜作为零部件表面的保护层能有效的延长其使用寿命，电子回旋共振等离子体溅射系统制备的不同结构碳膜具有良好的电力学性能[1]，因此，对于不同结构碳膜的电接触研究[2]很有必要。为探究不同结构碳膜在改变电流密度下的碳膜力学性能稳定性，通过纳米压痕和电响应测试[3]设计探针与电子横向输运碳纳米表面的原位电接触方法并采用恒流电接触特性加载方式，调节通路电流及接触面积探究不同电流密度作用下碳纳米结构薄膜的力学性能稳定性。研究结果发现石墨烯纳晶结构碳膜在应力场及界面电子作用下具有稳定的力学性能，而非晶结构碳膜表现出随着电流密度的增加力学性能先增加后降低。非晶碳膜在加载卸载过程中的电阻变化较大，且在较高的电流密度下结构发生转变。石墨烯纳晶碳膜具有稳定的伏安特性曲线，展示出较好的电子穿透效应，结构较稳定。研究结果为碳纳米结构薄膜在微电子及微电子机械系统中的应用奠定基础。

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