随着柔性电子技术在通信和可穿戴等领域的应用及其微型化进程，柔性材料在微观尺度下的力电特性受到广泛关注。柔性电子器件发生弯曲等变形容易引起材料内部应力状态改变，导致材料内部结构及物化特性（如硬度、弹性模量和化合键断裂能垒等）发生变化，进而影响材料表面的摩擦学性能。为此，本研究设计了一种适用于原子力显微镜的内应力调控微夹具，能够实现拉压应力的相互转变。结合材料弯曲应力应变的实验和仿真，验证了微夹具结构的稳定性以及实验数据的可靠性，进而研究不同弯曲程度对材料表面摩擦磨损的影响规律。研究结果表明，柔性材料弯曲变形，会改变材料内部应力，从而影响表面摩擦磨损行为。该结果初步探明了弯曲形变对柔性材料微观磨损的影响规律，进而为新一代柔性电子产品的损伤调控及防护提供理论指导。