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PPS塑料表面金属化功能薄膜的制备

磁控溅射 结合力 导电性 表面形貌

摘要：为了满足塑料电镀前导电层的准备，本实验采用磁控溅射工艺在PPS塑料沉积了纳米金属薄膜。研究了Cr层作为中间层，Cu层的溅射时间、溅射功率对薄膜的结合力、导电性以及表面形貌的影响。采用场发射扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌，利用ST-21型方块电阻测量仪测量了薄膜的面电阻，采用划痕仪和洛氏硬度仪对薄膜与基体的结合力进行定性检测。结果表明：在加入了Cr中间层后，Cu与基体的结合力较纯Cu薄膜有明显的增加，压坑周围以及划痕边缘无任何脱落。随着溅射功率的增加，薄膜厚度增加且表面趋于平整，方块电阻值逐渐减小。薄膜厚度值与溅射时间呈线性递增关系，在厚度达到一定值后方块电阻值趋于稳定。随着功率和负偏压的增加，薄膜的表面均趋于致密平整。

备注：展板报告