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111 / 2019-09-30 17:08:02
微孔金属化沉积工艺中粒子传输特性研究
微孔,长径比,气体压强,粒子传输
全体主题 > 薄膜设计、仿真与模拟
全文待审
都钱 / 合肥工业大学
王国栋 / 合肥工业大学
马儒坤 / 合肥工业大学
重要日期

  • 会议日期

    11月15日

    2019

    至

    11月18日

    2019

  • 11月01日 2019

    初稿截稿日期

  • 11月18日 2019

    注册截止日期

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浙江大学
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